■ 특징
●신개발의 개방관마이크로 포커스 탑재. filament는, 종래의 약 3배 장수명(당사비)을 실현.
●TOSMICRON컗S시리즈 공통의 고기능 소프트웨어와 고속·고정밀도 메카 탑재. 쾌적한 조작성과 고기능을 양립.
●최대 60о까지의 센서 경사에 의해, 경사 방향으로부터 투시 가능. 싱크로 트랙킹에 의한 보정 추종 기능을 표준 장비.
●대형 테이블(600×350 mm) 대응 가능.
■ 적응 분야
●IC·전자 부품의 고확대 검사
●표면 실장 부품의 접합부 검사
●소형 정밀 부품의 검사
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