■기능과 특장
●각도 측정의 고정밀화를 실현
독자적인 측각 시스템에 의해, 높은 재현성과 직선성을 실현합니다.
●장기간의 안정성노우
기구부는 비싼 강성과 내구성을 가져, 장기간 안정된 성능을 유지할 수가 있습니다.
●독자적인 X선프로필 피크 검출 기능을 채용
통계 처리 기술을 구사해, X선프로필 피크 검출 방식을 채용해 고정밀도로 안정된 각도 측정 성능을 얻을 수 있습니다.
●고속·고정밀도 측정
4 방위 측정 기능 뿐만이 아니라, 2 방위 측정 기능도 가져, 측정 시간은 4 방위 측정에 비해 약 1/2로 끝납니다. (SU-001은 대상외)
*2 방위 측정은 결정 방위의 X, Y경사를 구면 기하학을 이용해 정밀하게 요구하고 있습니다.
이 때문에 4 방위 측정과 같은 정밀도로 구해집니다. (특개평11-64252출원중)
●독자적인 X선량 측정계
X선량 측정계는, 펄스 하이트 analyzer에 의해 산란등의 오차 원인을 저감시켜, Cu의 특성X선을 선별해 측정할 수가 있기 때문에, 고정밀도의 측정이 가능합니다.
●고감도 검출기를 채용(오프셋(offset)각이 큰 결정에 대해서 대응 가능)
가장 중요한 요소 부품인 X선관과 검출기는 도시바제를 채용. 이 검출기는 검출해야 할 X선(Cu의 Kα)에 대해서 지극히 높은 감도를 가지고 있습니다. 또, 가스 검출기로 되어있기 때문에 X선의 입사 위치 및 방향에 대한 검출 감도의 변동이 작고, 결정면의 기울기각의 변화에 대해서 안정된 측정이 가능합니다.
●장기 수명화 대응
런닝·코스트에 영향의 큰 라이프 부품인 X선관은, 디 레이팅에 의해 장기 수명화를 꾀하고 있습니다. 각도 측정중 이외는, X선을 내지 않기 때문에 장수명을 기대할 수 있습니다. |
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